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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0645453(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920194432 申请日期 1992.07.22
申请人 NEC CORP 发明人 INABA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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