发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0645278(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920195768 申请日期 1992.07.23
申请人 NEC CORP 发明人 WATANABE TAKESHI
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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