| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0641724(A) |
申请公布日期 |
1994.02.15 |
| 申请号 |
JP19920201504 |
申请日期 |
1992.07.28 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
ISHIBASHI AKIRA;NAKAMURA HAJIME;KIYOTA JUNYA;NAKAMURA KYUZO |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/08 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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