| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD OF DETECTING SUBMICRON DIAMETRAL PARTICLE USING HIGH-DENSITY ARRAY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0626823(A) |
申请公布日期 |
1994.02.04 |
| 申请号 |
JP19920078643 |
申请日期 |
1992.02.28 |
| 申请人 |
PAATEIKURU MEJIYUARINGU SYST INC |
发明人 |
ROBAATO JII KUNOORENBAAGU |
| 分类号 |
G01B9/00;G01B11/08;G01J1/44;G01N15/02;G01N21/39;(IPC1-7):G01B11/08 |
主分类号 |
G01B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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