发明名称 |
MANUFACTURE OF DIAPHRAGM UTILIZING SENSOR AND DEVICE CONSTITUTED BY USING SAID METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0626961(A) |
申请公布日期 |
1994.02.04 |
申请号 |
JP19920046411 |
申请日期 |
1992.02.03 |
申请人 |
HONEYWELL INC |
发明人 |
JII BENJIYAMIN HOTSUKAA;DEBITSUDO DABURIYU BAANZU;AKINTSUNDE AI IKINWANDE;ROBAATO DEI HOONINGU;AMIA AARU MIRUZA;TOOMASU JII SUTORATSUTON;DEIIDORITSUCHI JIEI ZAATOFU;JIEIMUZU KEI KAANEI;SUKOTSUTO EI MAKUFUAASON |
分类号 |
G01L9/04;B81C1/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 |
主分类号 |
G01L9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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