发明名称 MANUFACTURE OF DIAPHRAGM UTILIZING SENSOR AND DEVICE CONSTITUTED BY USING SAID METHOD
摘要
申请公布号 JPH0626961(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920046411 申请日期 1992.02.03
申请人 HONEYWELL INC 发明人 JII BENJIYAMIN HOTSUKAA;DEBITSUDO DABURIYU BAANZU;AKINTSUNDE AI IKINWANDE;ROBAATO DEI HOONINGU;AMIA AARU MIRUZA;TOOMASU JII SUTORATSUTON;DEIIDORITSUCHI JIEI ZAATOFU;JIEIMUZU KEI KAANEI;SUKOTSUTO EI MAKUFUAASON
分类号 G01L9/04;B81C1/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
地址