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发明名称
摘要
申请公布号	JPH069190(B2)	申请公布日期	1994.02.02
申请号	JP19860193392	申请日期	1986.08.19
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	KAWAMURA SHIGERU;IBUKA NARUHITO
分类号	H01L21/31;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
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