发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0621066(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19910107387 申请日期 1991.05.13
申请人 SONY CORP 发明人 MIWA HIROYUKI;OUCHI NORIKAZU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L27/04;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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