发明名称 FORMATION OF REAR PLANE ELECTRODE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0620984(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920196494 申请日期 1992.06.29
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 NAKANO JIRO;MATSUBARA KYOJI
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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