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发明名称 VACUUM VESSEL
摘要
申请公布号 JPH0615160(A) 申请公布日期 1994.01.25
申请号 JP19920197841 申请日期 1992.07.01
申请人 EBARA CORP 发明人 MATSUMURA MASAO;NAKANIWA MASARU
分类号 B01J3/03;C23C14/00;C23F4/00;H01L21/02;(IPC1-7):B01J3/03 主分类号 B01J3/03
代理机构 代理人
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