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发明名称 CHEMICAL ETCHING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH065584(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920162673 申请日期 1992.06.22
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MATSUBARA HIDEKI
分类号 H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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