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发明名称 TEST METHOD OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH065673(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920165208 申请日期 1992.06.24
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 YANO TAKAYUKI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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