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发明名称 CVD METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH062148(A) 申请公布日期 1994.01.11
申请号 JP19920187422 申请日期 1992.06.23
申请人 ANELVA CORP 发明人 FUKAGAWA WATARU
分类号 C23C16/34;C23C16/48;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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