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发明名称 Interferometer zur Messung von optischen Phasendifferenzen.
摘要
申请公布号 DE3885773(D1) 申请公布日期 1994.01.05
申请号 DE19883885773 申请日期 1988.03.02
申请人 FA. CARL ZEISS, 73447 OBERKOCHEN, DE 发明人 KUECHEL, MICHAEL, DR.-ING., D-7082 OBERKOCHEN, DE
分类号 G01J9/02;(IPC1-7):G01J9/02 主分类号 G01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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