发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH05343529(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920143987 申请日期 1992.06.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHIDA YOICHI
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/82;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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