发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05335291(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19910257888 申请日期 1991.10.04
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址