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摘要
申请公布号
JPH05333438(A)
申请公布日期
1993.12.17
申请号
JP19920161966
申请日期
1992.05.28
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
HATABE YUKIO;INADA TATSUHIKO
分类号
G03B27/26;G03B27/16;G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/26
主分类号
G03B27/26
代理机构
代理人
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