发明名称 FABRICATION METHOD AND APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05335293(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920142281 申请日期 1992.06.03
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KAWAMURA KOICHIRO
分类号 H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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