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发明名称 DEVICE FOR NEUTRALIZING ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH05325876(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920135032 申请日期 1992.05.27
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TSUCHIDA KOICHI
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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