发明名称 |
HIGH VOLTAGE CONTROL DEVICE OF SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, ETC. |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH05325865(A) |
申请公布日期 |
1993.12.10 |
申请号 |
JP19920125801 |
申请日期 |
1992.05.19 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST:KK |
发明人 |
KOMURO HIROYUKI;TOMIZAWA JUNICHIRO;OZASA SUSUMU |
分类号 |
H01J37/248;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/248 |
主分类号 |
H01J37/248 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|