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发明名称 METHOD FOR CLEANING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPH05326471(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920126403 申请日期 1992.05.19
申请人 SONY CORP 发明人 HORIUCHI ATSUSHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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