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发明名称 PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 GB9321489(D0) 申请公布日期 1993.12.08
申请号 GB19930021489 申请日期 1993.10.19
申请人 CENTRAL RESEARCH LABORATORIES LIMITED 发明人
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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