| 发明名称 |
Plasma enhanced chemical vapor deposition of oxide film stack |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5268208(A) |
申请公布日期 |
1993.12.07 |
| 申请号 |
US19910724275 |
申请日期 |
1991.07.01 |
| 申请人 |
FORD MOTOR COMPANY |
发明人 |
KRISKO, ANNETTE J.;PROSCIA, JAMES W. |
| 分类号 |
C03C17/34;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;C23C28/00;G02F1/15;(IPC1-7):B05D3/06;B05D5/06;B05D5/12 |
主分类号 |
C03C17/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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