主权项 |
1、一种用于测量物体表面粗糙度、微细表面轮廓、微小振动,微小位移、微小变形的共路干涉方法,采用光源12的光束射入光学系统中,经分束器1部分反射到接收器2作为参考信号,并部分透射产生测量信号,其特征在于:在同一个光路中产生参考光束和测量光束,两个光束由接收器11接收并产生测量信号,(1)光源12的平行和垂直于纸面方向振动的线偏振光束通过分束器1透射,由偏振分束器3分别透过和反射,其光束走向为:(2.1)偏振分束器3使光源12的平行于纸面方向振动的线偏振光束透射,经多面反射棱镜5,透过偏振分束器7,再经波片9,由透镜10会聚到被测物体表面的一点上,然后由透镜10自准返回,再经波片9变成垂直于纸面方向振动的线偏振光,而由偏振分束器7反射投向透镜8,由透镜8会聚到反射棱镜6的反射面的f1点,然后经由多面反射棱镜4和偏振分束器3及分束器1反射射向接收器11而成为测量光束。(2.2)偏振分束器3使光源12的垂直于纸面方向振动的线偏振光束反射,经多面反射棱镜4和反射棱镜6投向透镜8,由透镜8会聚到偏振分束器7反射面的f2点,再经偏振分束器7反射和透过波片9后,由透镜10透射成为平行光束而垂直地投向被测物体表面,再由被测物体表面自准返回,经透镜10、波片9会聚到偏振分束器7反射面的f2点,变成平行于纸面方向的线偏振光束,因而透过偏振分束器7,再由多面反射棱镜5反射和透过偏振分束器3,然后由分束器1反射射向接收器11而产生参考光束。 |