发明名称 DEVICE FOR VAPOR-DEPOSITING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05311410(A) 申请公布日期 1993.11.22
申请号 JP19920146661 申请日期 1992.05.12
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KITAKADO HIDETO
分类号 C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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