| 发明名称 |
DIAMOND FILM SYNTHESIZING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05295544(A) |
申请公布日期 |
1993.11.09 |
| 申请号 |
JP19910346430 |
申请日期 |
1991.12.27 |
| 申请人 |
DENKI KOGYO CO LTD;TOSHIBA TUNGALOY CO LTD |
发明人 |
ISHIBORI KOUICHI;OHIRA YOSHIKAZU;YAGI MASARU;SHIBUKI KUNIO |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C30B29/04;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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