发明名称
摘要
申请公布号 JPH0575979(B2) 申请公布日期 1993.10.21
申请号 JP19880220223 申请日期 1988.09.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KOHORI TAKASHI;WADA TETSUNORI
分类号 G01N27/00;G01R29/00;G01R31/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R29/00 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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