发明名称
摘要
申请公布号 JPH05507363(A) 申请公布日期 1993.10.21
申请号 JP19910506142 申请日期 1991.03.04
申请人 发明人
分类号 G02F1/135;H01L31/14;(IPC1-7):G02F1/135 主分类号 G02F1/135
代理机构 代理人
主权项
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