发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267334(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920058666 申请日期 1992.03.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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