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发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05267189(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920063641 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;C23C14/14;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/223;H01L21/365;H01L31/0264;(IPC1-7):H01L21/205;H01L31/026 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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