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发明名称 MANUFACTURE OF FERROELECTRIC SUBSTANCE FILM
摘要
申请公布号 JPH05267196(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920108457 申请日期 1992.04.02
申请人 发明人
分类号 G02F1/03;H01L21/205;H03H9/25;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 G02F1/03
代理机构 代理人
主权项
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