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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDCUTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 KR930010015(B1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 KR19900013454 申请日期 1990.08.30
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 TSUNODA, HIROAKI
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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