发明名称 TAPERED SEMICONDUCTOR WAVEGUIDES AND METHOD OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 KR930010131(B1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 KR19900011690 申请日期 1990.07.31
申请人 AMERICAN TELEPHONE & TELEGRAPH CO. 发明人 KOCH, THOMAS L.;KOREN, UZIEL
分类号 G02B6/122;G02B6/13;G02B6/136;G02B6/30;H01L21/306;H01S5/10;(IPC1-7):H01L49/00;H01S3/19;G02B6/12 主分类号 G02B6/122
代理机构 代理人
主权项
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