发明名称 METHOD FOR FORMATION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH05259155(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920051651 申请日期 1992.03.10
申请人 发明人
分类号 C23C14/54;C23C16/40;C30B25/14;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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