发明名称 METHOD FOR FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05251427(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920048140 申请日期 1992.03.05
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 YASUDA HIROYASU
分类号 H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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