| 发明名称 |
RACK SUPPLYING/RECEIVING MECHANISM AND TOTAL ASSEMBLING DEVICE EQUIPPED WITH SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05246511(A) |
申请公布日期 |
1993.09.24 |
| 申请号 |
JP19920046888 |
申请日期 |
1992.03.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
TODA NAOKI;WADA TAKASHI |
| 分类号 |
B65G1/04;B65G1/00;B65G47/52;H01L21/50;(IPC1-7):B65G1/04 |
主分类号 |
B65G1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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