发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05243388(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19910315878 申请日期 1991.11.29
申请人 NEC CORP 发明人 SAKURAI MICHIO
分类号 C23C14/35;C23C16/40;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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