KAPASITIV AKSELERASJONSFOELER OG DENS ANVENDELSE VED ET IKKE-SERVOAKSELEROMETER

摘要

Miniatyriserbar føler innbefattende et isolerende substrat (10) som bærer en første måleelektrode (24) og Innbefatter en fleksibel målearm (18) av ledende eller halvledende materiale, hvilke ene ende er fastgjort til substratet (10) og den andre enden utgjør en andre elektrode som vender mot den første elektroden. Den første endentil målearmen er fastgjort til substratet via en bjelke (16) med en bøyekoeffIslent som er i det minste ti ganger større enn den til målearmen (18) og anordnet i hovedsaken parallelt med målearmen og fastgjort via en fot (14) stivt med substratet (10) og anbragt mellom de to endene til målearmen, idet forbindelsene mellom bjelken (16) og målearmen (18) og foten (14) er av fast-endetypen.