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发明名称 METHOD FOR PREVENTING GENERATION OF DUST IN INTERNAL JIG OF PVD DEVICE AND INTERNAL JIG TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05230624(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 JP19920033418 申请日期 1992.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMAJIRI MANABU;HASHIGUCHI TOSHIFUMI;INOUE MINORU;FUJIE NOBUO
分类号 C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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