| 发明名称 |
INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE AND ITS SCANNING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05231860(A) |
申请公布日期 |
1993.09.07 |
| 申请号 |
JP19920033096 |
申请日期 |
1992.02.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KADO HIROYUKI;TODA TAKAO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01Q10/06;G01Q60/26;G01Q60/38;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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