发明名称 DIE BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05218115(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920020253 申请日期 1992.02.05
申请人 SHARP CORP 发明人 HONDA MASAYUKI;KAMIYAMA AKINORI;ITO YOSHIYUKI
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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