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经营范围
发明名称
FINE PATTERN PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
JPH05206023(A)
申请公布日期
1993.08.13
申请号
JP19920010763
申请日期
1992.01.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
NAKAMURA NOBUO;MURAKAMI HIDEKAZU
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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