| 发明名称 |
DEVICE FOR CLEANING END OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05200350(A) |
申请公布日期 |
1993.08.10 |
| 申请号 |
JP19920037201 |
申请日期 |
1992.01.27 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KIZAKI KOJI;SHODA MIKIO |
| 分类号 |
B05C9/12;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027 |
主分类号 |
B05C9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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