VAPOUR DEPOSITION APPARATUS AND METHOD.

摘要

Un appareil de dépôt physique en phase gazeuse d'un alliage, dont les éléments constitutifs présentent des pressions de vapeur très différentes, comprend un creuset d'évaporation interne (1) entouré par un second creuset d'évaporation (2) pourvu d'un alignement de tuyères (9) orientées vers un collecteur (5). Lors de l'utilisation de l'appareil, une charge (3) de volatilité relativement faible est évaporée dans le creuset interne (1) par l'intermédiaire d'un faisceau d'électrons (7) focalisé par un aimant (8). La charge (4) se trouvant dans le second creuset (2) présente une volatilité beaucoup plus élevée et est évaporée par chauffage rayonnant. Les tuyères (9) dirigent la vapeur provenant de la charge (4) le long de trajectoires qui entrecoupent la vapeur s'élevant de la charge (3) de sorte que le flux de vapeurs combinées parvenant au collecteur (5) est un mélange étroit de constituants. Les tuyères (9) peuvent aussi être utilisées pour réguler la vitesse d'écoulement de la vapeur provenant du second creuset (2).