发明名称 SURFACE PROTECTIVE FILM OF SEMICONDUCTOR ELEMENT AND MANUFACTURE METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05190533(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920005651 申请日期 1992.01.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKABO YASUSHI
分类号 H01L21/312;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/522 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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