发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190405(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920003574 申请日期 1992.01.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KIRITA TOMOYUKI
分类号 H01L21/02;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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