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发明名称 AUTOMATED PHOTOMASK INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0532927(A3) 申请公布日期 1993.07.28
申请号 EP19920114182 申请日期 1992.08.20
申请人 KLA INSTRUMENTS CORPORATION 发明人 WHIL,MARK JOSEPH;FU,TAO-YI
分类号 G01N21/55;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88;G03F9/00 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人
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