| 发明名称 |
ION IMPLANTATION DEVICE AND METHOD OF LENGTHENING LIFETIME OF ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05182623(A) |
申请公布日期 |
1993.07.23 |
| 申请号 |
JP19920120258 |
申请日期 |
1992.05.13 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
NIKORASU BURAITO;POORU BAAFUIIRUDO;JIYON PONTEFURAKUTO;BAANAADO HARISON;PIITAA MIAAZU;DEIBUITSUDO BAAJIN |
| 分类号 |
H01L21/265;C23C14/48;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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