发明名称 DYNAMICAL QUANTITY SENSOR
摘要
申请公布号 JPH05180866(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19920000004 申请日期 1992.01.04
申请人 CANON INC 发明人 TSUKAMOTO TAKEO
分类号 H01L29/84;G01P15/08;G01P15/12;(IPC1-7):G01P15/12 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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