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发明名称
DEFECT INSPECTION SYSTEM AND INSPECTION PROCESS
摘要
申请公布号
EP0519255(A3)
申请公布日期
1993.07.21
申请号
EP19920109219
申请日期
1992.06.01
申请人
FUJI PHOTO FILM CO., LTD.
发明人
OKAMURA, KOKI;IWASA, MASAKAZU;SONE, SHIRO
分类号
G01N21/89;(IPC1-7):G01N21/89
主分类号
G01N21/89
代理机构
代理人
主权项
地址
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