发明名称 Method of making monolithic multilayer stacks for ferroelectric ceramic actuators.
摘要 <p>Bei dem Verfahren zum Herstellen monolithischer Vielschichtverbunde für Aktuatoren aus ferroelektrischer Keramik, werden auf Folienkarten (1,1') aus grüner keramischer Masse elektrisch leitfähige Beläge (2) aufgebracht, die kreisförmig ausgebildet sind. Sie haben einen Radius RB und sind an ihren Rändern (4) mit je einer teilkreisförmigen Ausnehmung (3) mit Radius RA < RB versehen. Die mit Belägen (2) versehenen Karten (1,1') werden so gestapelt,daß die Ausnehmungen (3) der Beläge (2) von Karte zu Karte versetzt zueinander angeordnet sind, wodurch sich im Stapel zwei Zonen bilden, die sich nicht überschneiden und in denen sich jeweils die Beläge (2) und Ausnehmungen (3) abwechseln. Der Kartenstapel wird laminiert. Nach dem Laminieren werden konzentrisch zu den Ausnehmungen (3) Rinnen (7) mit einem Radius RR < RA gestanzt, danach die grünen Verbunde konzentrisch zu den Rändern (4) der Beläge (2) mit einem Raius RV aus dem Kartenstapel ausgestanzt und gebrannt, wobei RB > RV >= (RB - RR) sein soll. <IMAGE></p>
申请公布号 EP0550829(A1) 申请公布日期 1993.07.14
申请号 EP19920120584 申请日期 1992.12.02
申请人 HOECHST CERAMTEC AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HELKE, GUENTER, DR.;LANGER, HANS-JOACHIM
分类号 H01L41/083;H01L41/273;H01L41/297;H01L41/339 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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